日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC

特征


應用/結果示例

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC

基本規格

| 陰極 | φ2英寸直流磁控管/ 2極面對電極 | 
| 目標 | 包含金靶 | 
| 膜厚設定方法 | 預設方法/帶膜厚監視器的數字顯示 | 
| 氣體導入機制 | 針閥 | 
| 真空泵 | 直連式旋轉泵:20l / min(帶自動泄漏) | 
| 排氣操作 | 自動的 | 
| 箱體尺寸 | 內徑φ120mm x D120 mm(SUS制) | 
| 樣品交換方法 | 前門開合式 | 
| 尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm | 
| 重量 | 身體:15公斤 RP:9公斤 |